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电子级四甲基氢氧化铵（TMAH）
（显影液TMAH：25.0%、20.0%、2.380%）
| C.A.S.号 |
75-59-2 |
凝固点℃ |
<-25.0 |
| 分子式 |
(CH3)4NOH |
粘性25 ℃, cst |
2.8 |
| 分子量 |
91.15 |
比重 @ 60 °F |
1.022 |
| 形 态 |
液体 |
闪点°F |
>200 |
| 沸点℃ |
100.0 |
pH |
>13 |
| 项目 |
单位 |
RJ-25 (MAX) |
RJ-20 (MAX) |
RJ-2.380 (MAX) |
| 含量 |
% |
24.90～25.10 |
19.90～20.10 |
2.377～2.383 |
| 色度 |
Hazen |
5 |
5 |
5 |
| 碳酸根 |
ppm |
100 |
100 |
10 |
| 氯离子 |
ppm |
0.1 |
0.1 |
0.1 |
| 甲醇 |
ppm |
40 |
40 |
10 |
| 锂 |
ppb |
5 |
5 |
1 |
| 钠 |
ppb |
10 |
10 |
1 |
| 镁 |
ppb |
5 |
5 |
1 |
| 铝 |
ppb |
10 |
10 |
1 |
| 钾 |
ppb |
10 |
10 |
1 |
| 钙 |
ppb |
10 |
10 |
1 |
| 铬 |
ppb |
5 |
5 |
1 |
| 锰 |
ppb |
5 |
5 |
1 |
| 铁 |
ppb |
5 |
5 |
1 |
| 镍 |
ppb |
5 |
5 |
1 |
| 钴 |
ppb |
5 |
5 |
1 |
| 铜 |
ppb |
5 |
5 |
1 |
| 锌 |
ppb |
5 |
5 |
1 |
| 钼 |
ppb |
5 |
5 |
1 |
| 镉 |
ppb |
5 |
5 |
1 |
| 铅 |
ppb |
5 |
5 |
1 |
| 银 |
ppb |
5 |
5 |
1 |
| 颗粒≥0.5um |
个/ml |
100 |
100 |
100 |
| 用途 |
在电子行业中，广泛用作硅晶片蚀刻剂、清洗剂、正胶显影液等 |
| 储存 |
保存于密闭容器中，放置阴凉处 |
| 标准包装 |
1000Kg IBC桶、槽车、加仑桶等 |
| 运输信息 |
危险品等级：8 UN 1835 |
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